博士論文

Studies on an apparatus for the vacuum ultraviolet radiation processes and a detector for the vacuum ultraviolet radiation

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Studies on an apparatus for the vacuum ultraviolet radiation processes and a detector for the vacuum ultraviolet radiation

国立国会図書館請求記号
UT51-61-D439
国立国会図書館書誌ID
000000165290
資料種別
博士論文
著者
邵春林 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋大学,工学博士
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博士論文

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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
邵春林 [著]
著者標目
邵, 春林 ショウ, シュンリン
数量
並列タイトル等
真空紫外線プロセス用装置および真空紫外線検出器に関する研究 シンクウ シガイセン プロセスヨウ ソウチ オヨビ シンクウ シガイセン ケンシュツキ ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
名古屋大学
授与年月日
昭和61年3月25日
授与年月日(W3CDTF)
1986
報告番号
甲第1846号