超LSI開発におけるパターンの微細化技術に関する研究
デジタルデータあり（大阪大学学術情報庫 桜華）
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- チョウLSI カイハツ ニ オケル パターン ノ ビサイカ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 柏木忠 [著]
- 著者標目
- 柏木, 忠 カシワキ, タダシ
- 数量
- 冊
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 昭和61年5月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1986
- 報告番号
- 乙第3910号