書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- プラズマ CVD ニ ヨル シリコン ハクマク ノ セイチョウ カテイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 松田彰久 [著]
- 著者標目
- 松田, 彰久 マツダ, アキヒサ
- 数量
- 冊
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 昭和61年1月31日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1986
- 報告番号
- 乙第1519号
この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。