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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウシュウハ スパッタリング ニ ヨル ハクマク ケイセイ ト MOS ソシ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 谷内利明 [著]
- 著者標目
- 谷内, 利明 ヤチ, トシアキ
- 数量
- 冊
- 授与機関名
- 静岡大学
- 授与年月日
- 昭和61年9月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1986
- 報告番号
- 乙第14号
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