博士論文

Study on sputtering processes in solid surface under ion bombardment

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Study on sputtering processes in solid surface under ion bombardment

国立国会図書館請求記号
UT51-60-B193
国立国会図書館書誌ID
000000174767
資料種別
博士論文
著者
姜煕載 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
大阪大学,工学博士
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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
姜煕載 [著]
著者標目
姜, 煕載 カン, ヒチェ
数量
並列タイトル等
固体表面におけるイオン衝撃スパッタリング過程に関する研究 コタイ ヒョウメン ニ オケル イオン ショウゲキ スパッタリング カテイ ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
大阪大学
授与年月日
昭和59年11月5日
授与年月日(W3CDTF)
1984
報告番号
甲第3150号