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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 広津敏博 [著]
- 著者標目
- 広津, 敏博 ヒロツ, トシヒロ
- 数量
- 冊
- 並列タイトル等
- プラズマ重合の研究 : 誘導結合グロー放電系における放電条件の最適化とプラズマ重合膜の評価 プラズマ ジュウゴウ ノ ケンキュウ : ユウドウ ケツゴウ グロー ホウデンケイ ニ オケル ホウデン ジョウケン ノ サイテキカ ト プラズマ ジュウゴウマク ノ ヒョウカ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 昭和59年5月31日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1984
- 報告番号
- 乙第1353号