Structure and properties of a-Si : H films prepared at high-deposition rate
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 上田将人 [著]
- 著者標目
- 上田, 将人 ウエダ, マサト
- 数量
- 冊
- 並列タイトル等
- 高速堆積a-Si : H膜の構造と特性 コウソク タイセキ a-Si : Hマク ノ コウゾウ ト トクセイ
- 授与機関名
- 広島大学
- 授与年月日
- 昭和62年3月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1987
- 報告番号
- 甲第637号