Quantum chemical studies on electron resists for VLSI
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 多田宰 [著]
- 著者標目
- 多田, 宰 タダ, ツカサ
- 数量
- 冊
- 並列タイトル等
- 超LSI用電子線レジストの量子化学的研究 チョウLSIヨウ デンシセン レジスト ノ リョウシ カガクテキ ケンキュウ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 昭和62年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1987
- 報告番号
- 乙第6209号