博士論文

金属シリサイド/シリコン界面の微視的構造に関する研究

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金属シリサイド/シリコン界面の微視的構造に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-60-I149
国立国会図書館書誌ID
000000185568
資料種別
博士論文
著者
川原田洋 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
早稲田大学,工学博士
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
キンゾク シリサイド / シリコン カイメン ノ ビシテキ コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
川原田洋 [著]
著者標目
川原田, 洋 カワラダ, ヒロシ
数量
授与機関名
早稲田大学
授与年月日
昭和60年3月15日
授与年月日(W3CDTF)
1985
報告番号
甲第654号