イオン化蒸着法による化合物半導体薄膜の成長に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- イオンカ ジョウチャクホウ ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイ ハクマク ノ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 田村進 [著]
- 著者標目
- 田村, 進 タムラ, ススム
- 授与機関名
- 関西大学
- 授与年月日
- 昭和62年9月26日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1987
- 報告番号
- 乙第108号
- 学位
- 工学博士