博士論文
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Deposition of boron and boron nitride films by plasma assisted chemical transport processes

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Deposition of boron and boron nitride films by plasma assisted chemical transport processes

国立国会図書館請求記号
UT51-62-G235
国立国会図書館書誌ID
000000188893
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/13041653
資料種別
博士論文
著者
小松正二郎 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東京大学,工学博士
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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
小松正二郎 [著]
著者標目
小松, 正二郎 コマツ, ショウジロウ
数量
並列タイトル等
プラズマ化学輸送法によるホウ素および窒化ホウ素薄膜の堆積に関する研究 プラズマ カガク ユソウホウ ニ ヨル ホウソ オヨビ チッカ ホウソ ハクマク ノ タイセキ ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
東京大学
授与年月日
昭和61年3月29日
授与年月日(W3CDTF)
1986
報告番号
甲第7077号