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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 六倉信喜 [著]
- 著者標目
- 六倉, 信喜 ムツクラ, ノブキ
- 数量
- 冊
- 並列タイトル等
- イオン・インプランテーションをした半導体の特性と低温度熱処理 イオン インプランテーション オ シタ ハンドウタイ ノ トクセイ ト テイオンド ネツ ショリ
- 授与機関名
- 東京電機大学
- 授与年月日
- 昭和59年3月9日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1984
- 報告番号
- 甲第9号