Ionized cluster beam techniques : formation of cluster beams by vaporized solid materials and their applications to film depositions
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 臼井博明 [著]
- 著者標目
- 臼井, 博明 ウスイ, ヒロアキ
- 並列タイトル等
- クラスターイオンビーム技術 : 蒸気化固体物質によるクラスタービームの生成と、その薄膜形成への応用 クラスター イオン ビーム ギジュツ : ジョウキカ コタイ ブッシツ ニ ヨル クラスター ビーム ノ セイセイ ト ソノ ハクマク ケイセイ エ ノ オウヨウ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 昭和63年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1988
- 報告番号
- 甲第3986号
- 学位
- 工学博士