Epitaxial growth of SiC by chemical vapor deposition and application to electronic devices
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 芝原健太郎 [著]
- 著者標目
- 芝原, 健太郎 シバハラ, ケンタロウ
- 並列タイトル等
- CVD法によるSiCのエピタキシャル成長と電子デバイスへの応用 CVDホウ ニ ヨル SiC ノ エピタキシャル セイチョウ ト デンシ デバイス エ ノ オウヨウ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 昭和63年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1988
- 報告番号
- 甲第3995号
- 学位
- 工学博士