集束イオンビームを用いた微細加工に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シュウソク イオン ビーム オ モチイタ ビサイ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 森本博明 [著]
- 著者標目
- 森本, 博明 モリモト, ヒロアキ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 昭和63年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1988
- 報告番号
- 乙第6492号
- 学位
- 工学博士