Microstructure and magnetic properties of Fe and Fe-N magnetic thin films prepared by two-facing targets type sputtering apparatus
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 宮声凱 [著]
- 著者標目
- 宮, 声凱 キュウ, セイガイ
- 並列タイトル等
- 対向陰極型直流スパッタ装置を用いて作製したFeおよびFe-N薄膜の構造と磁性 タイコウ インキョクガタ チョクリュウ スパッタ ソウチ オ モチイテ サクセイシタ Fe オヨビ Fe-N ハクマク ノ コウゾウ ト ジセイ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 昭和63年3月26日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1988
- 報告番号
- 甲第1894号
- 学位
- 工学博士