封じ込め磁界を用いた磁性体高速スパッタ法の開発に関する研究
国立国会図書館館内限定公開
収録元データベースで確認する
国立国会図書館デジタルコレクション
書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- フウジコメ ジカイ オ モチイタ ジセイタイ コウソク スパッタホウ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 高橋隆一 [著]
- 著者標目
- 高橋, 隆一 タカハシ, タカカズ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 昭和63年3月31日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1988
- 報告番号
- 乙第1803号
- 学位
- 工学博士