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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- タイコウ ターゲットシキ スパッタホウ ノ カイハツ ト ソノ ハクマク ケイセイ ヘ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 星陽一 [著]
- 著者標目
- 星, 陽一 ホシ, ヨウイチ
- 数量
- 冊
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 昭和58年12月31日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1983
- 報告番号
- 乙第1295号
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