博士論文

Studies of oxidation-induced stacking faults in silicon

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Studies of oxidation-induced stacking faults in silicon

国立国会図書館請求記号
UT51-59-K242
国立国会図書館書誌ID
000000214994
資料種別
博士論文
著者
早藤貴範 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
関西学院大学,理学博士
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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
早藤貴範 [著]
著者標目
早藤, 貴範 ハヤフジ, ヨシノリ
数量
並列タイトル等
シリコン結晶の熱酸化積層欠陥の研究 シリコン ケッショウ ノ ネツ サンカ セキソウ ケッカン ノ ケンキュウ
授与機関名
関西学院大学
授与年月日
昭和59年3月27日
授与年月日(W3CDTF)
1984
報告番号
乙第101号