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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 早藤貴範 [著]
- 著者標目
- 早藤, 貴範 ハヤフジ, ヨシノリ
- 数量
- 冊
- 並列タイトル等
- シリコン結晶の熱酸化積層欠陥の研究 シリコン ケッショウ ノ ネツ サンカ セキソウ ケッカン ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 関西学院大学
- 授与年月日
- 昭和59年3月27日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1984
- 報告番号
- 乙第101号