博士論文
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Study of low-temperature thermal-oxidation of silicon and its application to thin-film transistors

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Study of low-temperature thermal-oxidation of silicon and its application to thin-film transistors

国立国会図書館請求記号
UT51-89-V299
国立国会図書館書誌ID
000000224481
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/11602222
資料種別
博士論文
著者
張宏勇 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東京工業大学,工学博士
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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
張宏勇 [著]
著者標目
張, 宏勇 チョウ, コウユウ
並列タイトル等
シリコンの低温熱酸化とその薄膜トランジスタへの応用に関する研究 シリコン ノ テイオン ネツ サンカ ト ソノ ハクマク トランジスタ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
東京工業大学
授与年月日
平成1年3月26日
授与年月日(W3CDTF)
1989
報告番号
甲第2047号
学位
工学博士