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イオン注入技術のサブミクロン超LSIへの応用に関する研究

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イオン注入技術のサブミクロン超LSIへの応用に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-89-W433
国立国会図書館書誌ID
000000225247
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/11602985
資料種別
博士論文
著者
布施玄秀 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
大阪大学,工学博士
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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
イオン チュウニュウ ギジュツ ノ サブミクロン チョウLSI エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
布施玄秀 [著]
著者標目
布施, 玄秀 フセ, ゲンシュウ
授与機関名
大阪大学
授与年月日
平成1年7月27日
授与年月日(W3CDTF)
1989
報告番号
乙第4799号
学位
工学博士