多結晶シリコン薄膜電界効果トランジスタの微細化に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- タケッショウ シリコン ハクマク デンカイ コウカ トランジスタ ノ ビサイカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 羽鳥文敏 [著]
- 著者標目
- 羽鳥, 文敏 ハトリ, フミトシ
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 平成1年3月29日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1989
- 報告番号
- 甲第8111号
- 学位
- 工学博士