Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体へのイオン注入 : Si[+]とSn[+]注入GaAsのキャリヤ活性化機構
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- 3 - 5ゾク カゴウブツ ハンドウタイ エ ノ イオン チュウニュウ : Si+ ト Sn+ チュウニュウ GaAs ノ キャリヤ カッセイカ キコウ
- 著者・編者
- 沈泰彦 [著]
- 著者標目
- 沈, 泰彦 シム, テオン
- 並列タイトル等
- Ion implantation to Ⅲ-Ⅴ compound semiconductor : carrier activation of Si and Sn implanted GaAs
- 授与機関名
- 早稲田大学
- 授与年月日
- 平成1年6月22日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1989
- 報告番号
- 甲第801号