博士論文
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Synthetic studies on thermally stable photosensitive condensation polymers for photoresist applications

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Synthetic studies on thermally stable photosensitive condensation polymers for photoresist applications

国立国会図書館請求記号
UT51-90-R87
国立国会図書館書誌ID
000000233811
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/11439029
資料種別
博士論文
著者
Padmanaban, Munirathina [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東京工業大学,工学博士
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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
Padmanaban, Munirathina [著]
著者標目
Padmanaban, Munirathina パドマナバン, ムニラチュナ
並列タイトル等
フォトレジストのための熱的に安定な感光性縮合系高分子の合成に関する研究 フォトレジスト ノ タメ ノ ネツテキ ニ アンテイナ カンコウセイ シュクゴウケイ コウブンシ ノ ゴウセイ ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
東京工業大学
授与年月日
平成2年3月26日
授与年月日(W3CDTF)
1990
報告番号
甲第2140号
学位
工学博士