博士論文
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極短ゲートMOS電界効果トランジスタ用ゲート酸化膜と超薄膜SOI構造の研究

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極短ゲートMOS電界効果トランジスタ用ゲート酸化膜と超薄膜SOI構造の研究

国立国会図書館請求記号
UT51-90-T284
国立国会図書館書誌ID
000000235392
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/11431642
資料種別
博士論文
著者
三木浩史 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東京大学,工学博士
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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
ゴクタン ゲート MOS デンカイ コウカ トランジスタヨウ ゲート サンカマク ト チョウハクマク SOI コウゾウ ノ ケンキュウ
著者・編者
三木浩史 [著]
著者標目
三木, 浩史 ミキ, ヒロシ
授与機関名
東京大学
授与年月日
平成2年3月29日
授与年月日(W3CDTF)
1990
報告番号
甲第8567号
学位
工学博士