博士論文
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イオン注入によりSiO[2]/Si構造に生じた格子欠陥の電子スピン共鳴法による研究

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イオン注入によりSiO[2]/Si構造に生じた格子欠陥の電子スピン共鳴法による研究

国立国会図書館請求記号
UT51-90-W190
国立国会図書館書誌ID
000000235744
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/11432891
資料種別
博士論文
著者
和泉富雄 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東海大学,工学博士
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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
イオン チュウニュウ ニ ヨリ SiO2 / Si コウゾウ ニ ショウジタ コウシ ケッカン ノ デンシ スピン キョウメイホウ ニ ヨル ケンキュウ
著者・編者
和泉富雄 [著]
著者標目
和泉, 富雄 イズミ, トミオ
授与機関名
東海大学
授与年月日
平成2年9月19日
授与年月日(W3CDTF)
1990
報告番号
乙第128号
学位
工学博士