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Heteroepitaxial growth of GaAs on Si by MOCVD and its application to optoelectronic devices

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Heteroepitaxial growth of GaAs on Si by MOCVD and its application to optoelectronic devices

国立国会図書館請求記号
UT51-91-G14
国立国会図書館書誌ID
000000239949
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3054327
資料種別
博士論文
著者
江川孝志 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋工業大学,工学博士
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目次

  • CONTENTS

  • Chapter 1. Introduction

    p1

  • 1.1 Background

    p1

  • 1.2 Heteroepitaxial Growth of GaAs Layers on Si

    p4

  • 1.3 Device Applications

    p6

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
江川孝志 [著]
著者標目
江川, 孝志 エガワ, タカシ
並列タイトル等
MOCVD法を用いたSi上へのGaAsヘテロエピタキシャル成長および光電子デバイスへの応用 MOCVDホウ オ モチイタ Siジョウ エ ノ GaAs ヘテロエピタキシャル セイチョウ オヨビ コウデンシ デバイス エ ノ オウヨウ
授与機関名
名古屋工業大学
授与年月日
平成3年3月23日
授与年月日(W3CDTF)
1991
報告番号
甲第61号
学位
工学博士