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プラズマを用いたダイヤモンド膜の低温気相合成

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プラズマを用いたダイヤモンド膜の低温気相合成

国立国会図書館請求記号
UT51-91-G17
国立国会図書館書誌ID
000000239952
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3054330
資料種別
博士論文
著者
中尾節男 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋工業大学,工学博士
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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
プラズマ オ モチイタ ダイヤモンドマク ノ テイオン キソウ ゴウセイ
著者・編者
中尾節男 [著]
著者標目
中尾, 節男 ナカオ, セツオ
授与機関名
名古屋工業大学
授与年月日
平成3年3月23日
授与年月日(W3CDTF)
1991
報告番号
甲第64号
学位
工学博士