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Oriented growth of semiconductor thin films on noncrystalline substrates for graphoepitaxy

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Oriented growth of semiconductor thin films on noncrystalline substrates for graphoepitaxy

国立国会図書館請求記号
UT51-91-G268
国立国会図書館書誌ID
000000240203
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3054407
資料種別
博士論文
著者
金田隆 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
大阪大学,工学博士
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目次

  • TABLE OF CONTENTS

    p6

  • Chapter I.INTRODUCTION

    p1

  • 1-1.Concept of graphoepitaxy

    p1

  • 1-2.Historical background

    p3

  • Chapter II.ORIENTATION ALIGNMENT OF CRYSTALLINE THIN FILM ON NONCRYSTALLINE SUBSTRATE - THEORETICAL BACKGROUND OF GRAPHOEPITAXY -

    p12

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
金田隆 [著]
著者標目
金田, 隆 カナタ, タカシ
並列タイトル等
半導体結晶薄膜のグラフォエピタクシ成長に関する基礎研究 ハンドウタイ ケッショウ ハクマク ノ グラフォエピタクシ セイチョウ ニ カンスル キソ ケンキュウ
授与機関名
大阪大学
授与年月日
平成3年2月26日
授与年月日(W3CDTF)
1991
報告番号
乙第5292号
学位
工学博士