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Microscopic theory of initial oxidation on Si(100) surfaces

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Microscopic theory of initial oxidation on Si(100) surfaces

国立国会図書館請求記号
UT51-91-G278
国立国会図書館書誌ID
000000240213
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3054417
資料種別
博士論文
著者
宮本良之 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
大阪大学,工学博士
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目次

  • Contents

    p3

  • 1 Introduction

    p5

  • 1.1 Motivation

    p5

  • 1.2 Historical survey

    p8

  • 1.3 The structure of the Si(1OO) surfaces

    p16

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
宮本良之 [著]
著者標目
宮本, 良之 ミヤモト, ヨシユキ
並列タイトル等
結晶表面の酸化初期過程 ケッショウ ヒョウメン ノ サンカ ショキ カテイ
授与機関名
大阪大学
授与年月日
平成3年2月26日
授与年月日(W3CDTF)
1991
報告番号
乙第5302号
学位
工学博士