Low energy plasma etching of GaAs using electron beam excited plasma system and its application
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
CONTENTS
p5
Preface
p1
Acknowledgments
p4
1. Introduction
p1
1-1. Low energy plasma etching
p1
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 余金中 [著]
- 著者標目
- 余, 金中 ユ, ジンチュン
- 並列タイトル等
- 電子ビーム励起プラズマを用いたGaAsの低エネルギープラズマエッチングとその応用 デンシ ビーム レイキ プラズマ オ モチイタ GaAs ノ テイエネルギー プラズマ エッチング ト ソノ オウヨウ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成3年3月14日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 乙第5391号
- 学位
- 工学博士