博士論文
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スパッタ法による銅酸化物系積層膜の作製と電気伝導特性に関する研究

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スパッタ法による銅酸化物系積層膜の作製と電気伝導特性に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-91-G377
国立国会図書館書誌ID
000000240312
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3054516
資料種別
博士論文
著者
中村稔之 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
日本大学,工学博士
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目次

  • 目次

  • 1章 序論

    p1

  • 1-1 研究の位置づけ

    p1

  • 1-2 研究の目的と意義

    p4

  • 1-3 研究の構成

    p6

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
スパッタホウ ニ ヨル ドウ サンカブツケイ セキソウマク ノ サクセイ ト デンキ デンドウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
中村稔之 [著]
著者標目
中村, 稔之 ナカムラ, トシユキ
授与機関名
日本大学
授与年月日
平成3年3月25日
授与年月日(W3CDTF)
1991
報告番号
甲第2007号
学位
工学博士