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目次
論文目次
p1
第1章 緒論
p3
第2章 ヒロック成長の機構とエレクトロマイグレーションに関する一般的考察
p8
2-1 緒論
p8
2-2 ヒロック発生のメカニズムとその抑制
p8
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- イオン チュウニュウ ニ ヨル LSIヨウ デンキョク AI ニ オケル ヒロック ノ ヨクセイ ト ソノ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 亀田昌宏 [著]
- 著者標目
- 亀田, 昌宏 カメダ, マサヒロ
- 授与機関名
- 関西学院大学
- 授与年月日
- 平成3年3月20日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1991
- 報告番号
- 乙第152号
- 学位
- 理学博士