半導体ダイヤモンド薄膜の低圧気相合成とpn接合ダイオードの製作に関する基礎研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
博士論文目次
第一章 序論
p1
第二章 アンドープダイヤモンド薄膜の合成
p7
2-1 薄膜の合成方法および条件
p7
2-2 薄膜の結晶学的評価
p9
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ハンドウタイ ダイヤモンド ハクマク ノ テイアツ キソウ ゴウセイ ト pn セツゴウ ダイオード ノ セイサク ニ カンスル キソ ケンキュウ
- 著者・編者
- 岡野健 [著]
- 著者標目
- 岡野, 健 オカノ, ケン
- 授与機関名
- 東海大学
- 授与年月日
- 平成3年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 甲第144号
- 学位
- 工学博士