化学気相成長法によるシリコンならびにシリコンカーバイド結晶成長に関する研究
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目次
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第1章 序論
p1
1.1 まえがき
p1
1.2 本研究の背景
p2
1.3 低温選択成長に関する従来の研究
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル シリコン ナラビニ シリコン カーバイド ケッショウ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 大下祥雄 [著]
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成3年6月6日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 乙第3984号
- 学位
- 工学博士