博士論文
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リンをドープしたn型シリコン中に化学エッチングによって導入される欠陥

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リンをドープしたn型シリコン中に化学エッチングによって導入される欠陥

国立国会図書館請求記号
UT51-91-T123
国立国会図書館書誌ID
000000244724
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3058145
資料種別
博士論文
著者
米田稔 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
岡山大学,理学博士
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目次

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 第2章 実験方法

    p4

  • 2.1 試料の作製

    p4

  • 2.2 DLTSの測定方法

    p6

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
リン オ ドープシタ nガタ シリコンチュウ ニ カガク エッチング ニ ヨッテ ドウニュウサレル ケッカン
著者・編者
米田稔 [著]
著者標目
米田, 稔 ヨネタ, ミノル
授与機関名
岡山大学
授与年月日
平成3年9月30日
授与年月日(W3CDTF)
1991
報告番号
甲第984号
学位
理学博士