Polytype control in crystal growth of SiC for semiconductor devices
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目次
論文目録
Contents
p5
Abstract
p1
Acknowledgments
p3
1.Introduction
p1
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 兪祐植 [著]
- 著者標目
- 兪, 祐植 ユ, ウシク
- 並列タイトル等
- 半導体デバイスのためのSiCの結晶成長におけるポリタイプ制御 ハンドウタイ デバイス ノ タメ ノ SiC ノ ケッショウ セイチョウ ニ オケル ポリタイプ セイギョ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 平成3年9月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 甲第4902号
- 学位
- 工学博士