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MOCVD法によるSi基板上のGaPの成長機構と結晶性に関する研究

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MOCVD法によるSi基板上のGaPの成長機構と結晶性に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-92-F165
国立国会図書館書誌ID
000000248300
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3060061
資料種別
博士論文
著者
鈴木孝之 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋工業大学,工学博士
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目次

  • 目次

  • 第一章 序論

    p1

  • 1.1 はじめに

    p1

  • 1.2 Si基板上への化合物半導体の結晶成長法

    p2

  • 1.3 本論文の目的と構成

    p8

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
MOCVDホウ ニ ヨル Si キバンジョウ ノ GaP ノ セイチョウ キコウ ト ケッショウセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
鈴木孝之 [著]
著者標目
鈴木, 孝之 スズキ, タカユキ
授与機関名
名古屋工業大学
授与年月日
平成4年3月23日
授与年月日(W3CDTF)
1992
報告番号
甲第83号
学位
工学博士