Non-destructive analysis using soft X-ray emission spectroscopy (SXES) : application for metal/semiconductor contacts and construction of a new SXES apparatus for surface and interface studies
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
CONTENTS
p4
Chapter1:Introduction
p1
References
p13
Chapter2:Experimental Methods
p14
2.1 Soft X-Ray Emission Spectroscopy:Principles for Grating Monochromator
p14
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 渡部宏邦 [著]
- 著者標目
- 渡部, 宏邦, 1944- ワタベ, ヒロクニ, 1944- ( 00152365 )典拠
- 並列タイトル等
- 軟X線分光法を用いた非破壊分析法とその金属/半導体接合系評価への応用 ナンXセン ブンコウホウ オ モチイタ ヒハカイ ブンセキホウ ト ソノ キンゾク
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成4年2月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 乙第5654号
- 学位
- 工学博士