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炭化ケイ素/炭素系傾斜機能材料の化学気相析出法による合成と諸性質に関する研究

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炭化ケイ素/炭素系傾斜機能材料の化学気相析出法による合成と諸性質に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-92-G533
国立国会図書館書誌ID
000000249514
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3060625
資料種別
博士論文
著者
佐々木眞 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東北大学,工学博士
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目次

  • 論文目次

    p1

  • 第1章 緒論

    p1

  • 1-1.目的

    p1

  • 1-2.予備考察

    p4

  • 第2章 Si-C-H-ClのCVD平衡組成計算

    p28

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
タンカ ケイソ / タンソケイ ケイシャ キノウ ザイリョウ ノ カガク キソウ セキシュツホウ ニ ヨル ゴウセイ ト ショセイシツ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
佐々木眞 [著]
著者標目
佐々木, 眞 ササキ, マコト
授与機関名
東北大学
授与年月日
平成4年3月18日
授与年月日(W3CDTF)
1992
報告番号
乙第5791号
学位
工学博士