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Fraunhofer回折による超精密加工表面テクスチャの測定評価法に関する研究

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Fraunhofer回折による超精密加工表面テクスチャの測定評価法に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-92-H65
国立国会図書館書誌ID
000000249590
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3060644
資料種別
博士論文
著者
高谷裕浩 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
北海道大学,工学博士
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目次

  • 目次

  • 第1章 緒論

    p1

  • 1.1節 本研究の背景

    p1

  • 1.2節 超精密加工表面テクスチャの測定評価における問題点

    p4

  • 1.3節 本研究の目的と概要

    p13

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
Fraunhofer カイセツ ニ ヨル チョウセイミツ カコウ ヒョウメン テクスチャ ノ ソクテイ ヒョウカホウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
高谷裕浩 [著]
著者標目
高谷, 裕浩 タカヤ, ヤスヒロ ( 01126347 )典拠
授与機関名
北海道大学
授与年月日
平成4年3月25日
授与年月日(W3CDTF)
1992
報告番号
甲第3040号
学位
工学博士