Studies on heteroepitaxial growth of GaAs on Si substrate by metal organic chemical vapor deposition
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
CONTENTS
Chapter 1.Introduction
p1
1.1 Background
p1
1.2 GaAs epitaxial growth on Si
p4
1.3 Initial stage of GaAs growth on Si
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトル
- 著者・編者
- 藤田和久 [著]
- 著者標目
- 藤田, 和久 フジタ, カズヒサ
- 並列タイトル等
- 有機金属気相成長法によるSi基板上GaAs成長の研究 ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル Si キバンジョウ GaAs セイチョウ ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 名古屋工業大学
- 授与年月日
- 平成4年6月4日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 乙第40号
- 学位
- 工学博士