光CVD五酸化タンタル薄膜の堆積とリーク電流低減の機構に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
【第1章 序論】
p1
1.1 本研究の歴史的背景
p1
1.2 低リーク電流酸化タンタル膜の実現
p5
1.3 本研究のあらましと意義
p8
【第2章 光CVD装置の構成と操作法】
p17
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ヒカリ CVD ゴサンカ タンタル ハクマク ノ タイセキ ト リーク デンリュウ テイゲン ノ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 谷本智 [著]
- 著者標目
- 谷本, 智 タニモト, サトシ
- 授与機関名
- 東京農工大学
- 授与年月日
- 平成4年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 甲第18号
- 学位
- 工学博士