A study on application of a silicon-on-insulator structure to pressure sensors
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
TABLE OF CONTENTS
p15
ABSTRACT(in Japanese)
p2
ABSTRACT(in English)
p4
ACKNOWLEDGMENTS
p6
LIST OF FIGURES
p7
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 鄭貴相 [著]
- 著者標目
- 鄭, 貴相 チョン, ギサン
- 並列タイトル等
- Silicon-on-Insulator構造の圧力センサへの応用に関する研究 Silicon - on - Insulator コウゾウ ノ アツリョク センサ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 豊橋技術科学大学
- 授与年月日
- 平成4年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 甲第62号
- 学位
- 工学博士