顕微光応答法の開発と金属-半導体界面評価への応用
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目次
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論文要旨
第1章 序論
p1
1-1 半導体デバイスにおける金属-半導体界面の役割
p1
1-2 本研究の目的､位置づけ
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ケンビ ヒカリ オウトウホウ ノ カイハツ ト キンゾク - ハンドウタイ カイメン ヒョウカ エ ノ オウヨウ
- 著者・編者
- 塩島謙次 [著]
- 著者標目
- 塩島, 謙次 シオジマ, ケンジ
- 授与機関名
- 東京都立大学
- 授与年月日
- 平成4年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 甲第290号
- 学位
- 工学博士