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目次
論文目録
1 INTRODUCTION
1-1 purpose of this study
p6
1-2 History of GaAs passivation
p7
1-3 The most promising process:(NH₄)₂Sx
p12
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Ricard, Herve [著]
- 著者標目
- Ricard, Herve リカー, エルヴェ
- 並列タイトル等
- 弗化物/硫黄処理GaAs界面の評価とMISデバイスへの応用に関する研究 フッカブツ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成4年3月26日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1992
- 報告番号
- 甲第2497号
- 学位
- 工学博士