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プラズマCVD法による鉄鋼材料への硬質低摩擦膜の形成

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プラズマCVD法による鉄鋼材料への硬質低摩擦膜の形成

国立国会図書館請求記号
UT51-92-R75
国立国会図書館書誌ID
000000254254
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3063056
資料種別
博士論文
著者
小栗和幸 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋工業大学,工学博士
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目次

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1-1 本研究の意義および目的

    p1

  • 1-2 プラズマCVD法の概略

    p4

  • 1-3 従来の研究

    p9

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
プラズマ CVDホウ ニ ヨル テッコウ ザイリョウ エ ノ コウシツ テイマサツマク ノ ケイセイ
著者・編者
小栗和幸 [著]
著者標目
小栗, 和幸 オグリ, カズユキ
授与機関名
名古屋工業大学
授与年月日
平成4年9月10日
授与年月日(W3CDTF)
1992
報告番号
乙第42号
学位
工学博士