水素化アモルファス炭化シリコン膜の構造と電気的特性
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
第一章 序論
p1
§1.1 本研究の背景
p1
§1.2 アモルファスシリコンおよびその合金系の物性
p3
§1.3 水素化アモルファス炭化シリコンの応用
p5
§1.4 本研究の目的と構成
p7
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- スイソカ アモルファス タンカ シリコンマク ノ コウゾウ ト デンキテキ トクセイ
- 著者・編者
- 田畑彰守 [著]
- 著者標目
- 田畑, 彰守 タバタ, アキモリ
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成4年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 甲第2640号
- 学位
- 工学博士