Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体(I[n]P,I[n]Sb,G[a]A[s])におけるMIS構造の研究
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和文要旨
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1 序論
p1
2 試料作製
p9
2.1 InP MIS構造
p9
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- 3 - 5ゾク カゴウブツ ハンドウタイ (InP , InSb , GaAs) ニ オケル MIS コウゾウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 鳥居泰伸 [著]
- 著者標目
- 鳥居, 泰伸 トリイ, ヤスノブ
- 授与機関名
- 豊橋技術科学大学
- 授与年月日
- 平成5年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1993
- 報告番号
- 甲第75号
- 学位
- 博士 (工学)