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ペンタメトキシタンタルからの高耐食性Ta[2]O[5]薄膜の化学気相析出に関する研究

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ペンタメトキシタンタルからの高耐食性Ta[2]O[5]薄膜の化学気相析出に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-93-G278
国立国会図書館書誌ID
000000259726
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3066926
資料種別
博士論文
著者
安春鎬 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東北大学,博士 (工学)
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目次

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 参考文献

    p9

  • 第2章 実験方法

    p12

  • 2.1 薄膜の作製

    p12

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
ペンタメトキシ タンタル カラ ノ コウタイショクセイ Ta2O5 ハクマク ノ カガク キソウ セキシュツ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
安春鎬 [著]
著者標目
安, 春鎬 アン, チュンホ
授与機関名
東北大学
授与年月日
平成5年3月25日
授与年月日(W3CDTF)
1993
報告番号
甲第4856号
学位
博士 (工学)